银河半导体的光刻工厂，从来都不是一个秘密。
它座落在唐都市高新区的边缘，被三米高的围墙和层层安保围住，像一个沉默的巨人，日夜不停地运转。
但外界对它的了解，仅限于“它能造芯片”这个层面。
至于怎么造的、造得怎么样、成本如何、良品率多少，都是谜。
这个谜，在今天被揭开了。
上午九点，银河科技官网和工信部官网同步发布了一份《关于银河半导体光刻工厂技术评估的报告》。
报告不长，只有八页，但每一页都像一颗炸弹，在全球半导体行业炸开了花。
“光刻工厂采用同步辐射光源技术，已实现7纳米制程芯片的稳定量产，良品率92.3%。5纳米制程芯片已完成工程验证，良品率78.6%，预计2020年底实现量产。3纳米制程芯片的预研工作已启动，技术路线可行。”
“光刻工厂的单台设备年产能，相当于ASML最先进EUV光刻机的12倍，单位成本仅为ASML设备的四分之一。”
“光刻工厂的核心设备、材料、软件，全部实现国产化。其中，同步辐射光源、光刻胶、掩膜台、EDA设计软件均由银河科技独立开发，拥有自主专利版权。”
“目前，光刻工厂已与中芯国际、华虹集团、长存存储、长鑫存储等国内主要芯片制造企业签订供货协议，2020年订单总额超过500亿元。”
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